多导毛细聚焦膜厚测试仪晶圆
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产品描述

多导毛细聚焦光谱仪主要利用X射线全反射原理,从X射线管激发出来的X射线束在毛细玻璃管的内壁以全反射的方式进行传输,利用毛细玻璃管的弯曲来改变X射线的传输方向,从而实现X射线汇聚,同时将X射线的强度增加2~3个数量级。
产品优势
1. 镀层检测,多镀层检测可达 5 层;镀层测量精度 0.001μm;
2. **大可移动全自动样品平台 520*520mm (长*宽),样品移动距离 500*500mm ;
3. 激光定位和自动多点测量功能;
4. 运行及维护成本低、无易损易耗品,对使用环境相对要求低;
5. 操作简单、易学易懂、无损、、高性能、高稳定性,快速出检测结 果 (3-30 秒) ;
6. 可针对客户个性化要求量身定做分析配置硬件;
7. 软件终身免费升级;
8. 无损检测,一次性购买标样可*使用;
9. 使用安心**,售后服务响应时间 24H 以内,提供保姆式服务;
10. 可以远程操作,解决客户使用中的后顾之忧。
多导毛细聚焦膜厚测试仪晶圆
适配性强:适用于各类样品尺寸的产品线,如600*600mm大型印刷电路板
操作体验佳:高精细样品观察图像,微区小至纳米级别的分辨率,实现更快速便捷的测试
自动、智能:搭载可编程全自动位移平台,无人值守、自动检测样品同时搭载影像识别功能,自动判定测试位置
多导毛细聚焦膜厚测试仪晶圆
测量精度更高:新开发的特的光学器件和多导毛细管技术可对**微小区域及纳米级薄层高精度测量
**微小样品检测:测试小测量点直径可达10µm
测量效率高:高灵敏度、高解析度X荧光检测系统搭配多导毛细管技术,测量时间更短,能够实现普通机型几倍的检测量
多导毛细聚焦膜厚测试仪晶圆
产品配置及技术指标说明
X 射线光管:50KV ,1mA 钼钯
检测系统:FAST SDD 探测器
检测元素范围:Al ( 13) ~ U(92)
应用程序语言:英/中
测量原理:能量色散X射线分析
分辨率:125±5eV
焦斑直径:15μm
 分析方法:FP/校准曲线,吸收,荧光
样品移动距离:可设置
毛细管镀层分析产品特点:
1、多导毛细光学系统和高性能SDD探测器:区别金属准直,多导毛细管可将光束缩小至10 μm,同时得到数千倍的强度增益。可测量**微小样品的同时大程度保证了测试的准确性及稳定性。
2、微米级**小区域:在Elite-X光学系统设计下大大降低检出限,纳米级**薄镀层均可准确、可靠测试
3、广角相机:样品整体形貌一览无余,且测试位置一键直达
4、搭配高分辨微区相机:千倍放大*对焦测试区域,搭配XY微米级移动平台,三维方向对焦聚焦测试点位,误差<±2 μm
5、多重保护系统:V型激光保护,360°探入保护,保护您的样品不受损害,保证仪器安全可靠的运作
6、全自动移动平台:可编程化的操作,针对同一类型样品,编程测试点位,同一类样品自动寻路直接测试
7、人性化的软件:搭配EFP核心算法软件,人机交互,智慧操作
8、可搭配全自动进送样系统
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