金属薄膜测厚仪半导体
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产品描述

多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品详细资料介绍,多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品报价和详细配置请咨询苏州实谱仪器有限公司提供毛细管镀层测厚仪产品原理和应用测试方案。x射线荧光光谱XRF在晶圆测试中被广泛应用
多镀层厚度同时测量
单镀层应用 [如:Cu/ABS 等]
双镀层应用 [如:Ag/Pd/Zn, Au/Ni/Cu 等]
三镀层应用 [如:Au/Ni-P/Cu/Brass 等]
四镀层应用 [如:Cr/Ni/Cu/Zn/SnPb 等]
合金镀层应 [如:Sn-Pb/Cu
金属薄膜测厚仪半导体
在高集成光路系统的基础上,搭配多导毛细管 实现小面积或薄镀层的高速、、稳定的测量,聚焦直径可小至10μm,可产生比准直器机构强千倍的信号强度多导毛细管将激发光束高强度的集中在一个的小光斑上,从而显著缩短测量时间, 在测量纳米级Au厚度或薄膜层厚度及成分时,满足微小光斑、短测量时间的同时,测量效果接近
金属薄膜测厚仪半导体
1. 高性能高精度X荧光光谱仪 (XRF)
2. 计算机 通道逐次近似计算法 ADC (模拟数字转换器)
运用基本参数 (F软件,通过简单的三步进行无标样标定,使用 基础参数计算方法,对样品进行的镀层厚度分析
3. (多层薄膜基本参数法) 模块进行镀层厚度
金属薄膜测厚仪半导体
产品优势
1. 镀层检测,多镀层检测可达 5 层;镀层测量精度 0.001μm;
2. **大可移动全自动样品平台 520*520mm (长*宽),样品移动距离 500*500mm ;
3. 激光定位和自动多点测量功能;
4. 运行及维护成本低、无易损易耗品,对使用环境相对要求低;
5. 操作简单、易学易懂、无损、、高性能、高稳定性,快速出检测结 果 (3-30 秒) ;
6. 可针对客户个性化要求量身定做分析配置硬件;
7. 软件终身免费升级;
8. 无损检测,一次性购买标样可*使用;
9. 使用安心**,售后服务响应时间 24H 以内,提供保姆式服务;
10. 可以远程操作,解决客户使用中的后顾之忧。
毛细管镀层分析产品特点:
1、多导毛细光学系统和高性能SDD探测器:区别金属准直,多导毛细管可将光束缩小至10 μm,同时得到数千倍的强度增益。可测量**微小样品的同时大程度保证了测试的准确性及稳定性。
2、微米级**小区域:在Elite-X光学系统设计下大大降低检出限,纳米级**薄镀层均可准确、可靠测试
3、广角相机:样品整体形貌一览无余,且测试位置一键直达
4、搭配高分辨微区相机:千倍放大*对焦测试区域,搭配XY微米级移动平台,三维方向对焦聚焦测试点位,误差<±2 μm
5、多重保护系统:V型激光保护,360°探入保护,保护您的样品不受损害,保证仪器安全可靠的运作
6、全自动移动平台:可编程化的操作,针对同一类型样品,编程测试点位,同一类样品自动寻路直接测试
7、人性化的软件:搭配EFP核心算法软件,人机交互,智慧操作
8、可搭配全自动进送样系统
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