多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品详细资料介绍，多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品报价和详细配置请咨询苏州实谱仪器有限公司提供毛细管镀层测厚仪产品原理和应用测试方案。x射线荧光光谱XRF在晶圆测试中被广泛应用
1. 高性能高精度X荧光光谱仪 (XRF)
2. 计算机 通道逐次近似计算法 ADC (模拟数字转换器)
运用基本参数 (F软件，通过简单的三步进行无标样标定，使用 基础参数计算方法，对样品进行的镀层厚度分析
3. (多层薄膜基本参数法) 模块进行镀层厚度
X射线激发由上往下，采用Mo靶，铜管体的光管，
大窗口的SDD硅漂移探测器
XY轴程控控制，程控移动
焦距可变
高倍放大的高清CCD
开槽式样品台
多级密码设置可给予不同的管理权限
在高集成光路系统的基础上，搭配多导毛细管 实现小面积或薄镀层的高速、、稳定的测量，聚焦直径可小至10μm，可产生比准直器机构强千倍的信号强度多导毛细管将激发光束高强度的集中在一个的小光斑上，从而显著缩短测量时间， 在测量纳米级Au厚度或薄膜层厚度及成分时，满足微小光斑、短测量时间的同时，测量效果接近
适配性强：适用于各类样品尺寸的产品线，如600*600mm大型印刷电路板
操作体验佳：高精细样品观察图像，微区小至纳米级别的分辨率，实现更快速便捷的测试
自动、智能：搭载可编程全自动位移平台，无人值守、自动检测样品同时搭载影像识别功能，自动判定测试位置
毛细管镀层分析产品特点：
1、多导毛细光学系统和高性能SDD探测器：区别金属准直，多导毛细管可将光束缩小至10 μm，同时得到数千倍的强度增益。可测量**微小样品的同时大程度保证了测试的准确性及稳定性。
2、微米级**小区域：在Elite-X光学系统设计下大大降低检出限，纳米级**薄镀层均可准确、可靠测试
3、广角相机：样品整体形貌一览无余，且测试位置一键直达
4、搭配高分辨微区相机：千倍放大*对焦测试区域，搭配XY微米级移动平台，三维方向对焦聚焦测试点位，误差<±2 μm
5、多重保护系统：V型激光保护，360°探入保护，保护您的样品不受损害，保证仪器安全可靠的运作
6、全自动移动平台：可编程化的操作，针对同一类型样品，编程测试点位，同一类样品自动寻路直接测试
7、人性化的软件：搭配EFP核心算法软件，人机交互，智慧操作
8、可搭配全自动进送样系统
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