xrf测试晶圆

多导毛细聚焦光谱仪主要利用X射线全反射原理，从X射线管激发出来的X射线束在毛细玻璃管的内壁以全反射的方式进行传输，利用毛细玻璃管的弯曲来改变X射线的传输方向，从而实现X射线汇聚，同时将X射线的强度增加2～3个数量级。
1. X 射线管：高稳定性 X 光光管，使用寿命(工作时间>20,000 小时)
微焦点x 射线管钼钯
焦斑直径：15μm
2. 探测器：FAST SDD探测器 能量分辨率：125±5eV
3. 平台：软件程序控制步进式电机驱动 X-Y 轴移动大样品平台。 激光定位、简易荷载大负载量为 5 公斤
软件控制程序进行持续性自动测量
4. 样品定位：显示屏上显示样品锁定、激光定位及拍照功能

性能优势：
微区分析：定位平台和毛细管聚焦光学结构，聚焦直径可小至 5μm FWHM. 
测试速度：强度**金属准直1000倍以上的毛细管光路系统搭配核心算法，分析效率翻倍，将大幅度缩减分析时间。 
自动智能：仪器响应式自动开合，AI影像智能寻点一次编程即可实现成百上千个样品点的检测，实现在线检测。

多镀层厚度同时测量
单镀层应用 [如：Cu/ABS 等]
双镀层应用 [如：Ag/Pd/Zn, Au/Ni/Cu 等]
三镀层应用 [如：Au/Ni-P/Cu/Brass 等]
四镀层应用 [如：Cr/Ni/Cu/Zn/SnPb 等]
合金镀层应 [如：Sn-Pb/Cu

产品优势
1. 镀层检测，多镀层检测可达 5 层；镀层测量精度 0.001μm；
2. **大可移动全自动样品平台 520*520mm (长*宽)，样品移动距离 500*500mm ；
3. 激光定位和自动多点测量功能；
4. 运行及维护成本低、无易损易耗品，对使用环境相对要求低；
5. 操作简单、易学易懂、无损、、高性能、高稳定性，快速出检测结 果 (3-30 秒) ；
6. 可针对客户个性化要求量身定做分析配置硬件；
7. 软件终身免费升级；
8. 无损检测，一次性购买标样可*使用；
9. 使用安心**，售后服务响应时间 24H 以内，提供保姆式服务；
10. 可以远程操作，解决客户使用中的后顾之忧。
毛细管镀层分析产品特点：
1、多导毛细光学系统和高性能SDD探测器：区别金属准直，多导毛细管可将光束缩小至10 μm，同时得到数千倍的强度增益。可测量**微小样品的同时大程度保证了测试的准确性及稳定性。
2、微米级**小区域：在Elite-X光学系统设计下大大降低检出限，纳米级**薄镀层均可准确、可靠测试
3、广角相机：样品整体形貌一览无余，且测试位置一键直达
4、搭配高分辨微区相机：千倍放大*对焦测试区域，搭配XY微米级移动平台，三维方向对焦聚焦测试点位，误差<±2 μm
5、多重保护系统：V型激光保护，360°探入保护，保护您的样品不受损害，保证仪器安全可靠的运作
6、全自动移动平台：可编程化的操作，针对同一类型样品，编程测试点位，同一类样品自动寻路直接测试
7、人性化的软件：搭配EFP核心算法软件，人机交互，智慧操作
8、可搭配全自动进送样系统
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