多导毛细聚焦光谱仪主要利用X射线全反射原理,从X射线管激发出来的X射线束在毛细玻璃管的内壁以全反射的方式进行传输,利用毛细玻璃管的弯曲来改变X射线的传输方向,从而实现X射线汇聚,同时将X射线的强度增加2~3个数量级。
性能优势:
微区分析:定位平台和毛细管聚焦光学结构,聚焦直径可小至 5μm FWHM.
测试速度:强度**金属准直1000倍以上的毛细管光路系统搭配核心算法,分析效率翻倍,将大幅度缩减分析时间。
自动智能:仪器响应式自动开合,AI影像智能寻点一次编程即可实现成百上千个样品点的检测,实现在线检测。
测量精度更高:新开发的特的光学器件和多导毛细管技术可对**微小区域及纳米级薄层高精度测量
**微小样品检测:测试小测量点直径可达10µm
测量效率高:高灵敏度、高解析度X荧光检测系统搭配多导毛细管技术,测量时间更短,能够实现普通机型几倍的检测量
多导毛细管技术,轻松应对**小测量点薄涂层和薄涂层的测量分析,在柔性电路板、芯片封装环节、晶圆微区的镀层厚度和成分自动测试分析中尽显优势主要利用X射线全反射原理,从X射线管激发出来的X射线束在毛细玻璃管的内壁以全反射的方式进行传输,利用毛细玻璃管的弯曲来改变X射线的传输方向,从而实现X射线汇聚,同时将X射线的强度增加2~3个数量级
产品配置及技术指标说明
X 射线光管:50KV ,1mA 钼钯
检测系统:FAST SDD 探测器
检测元素范围:Al ( 13) ~ U(92)
应用程序语言:英/中
测量原理:能量色散X射线分析
分辨率:125±5eV
焦斑直径:15μm
分析方法:FP/校准曲线,吸收,荧光
样品移动距离:可设置
毛细管镀层分析产品特点:
1、多导毛细光学系统和高性能SDD探测器:区别金属准直,多导毛细管可将光束缩小至10 μm,同时得到数千倍的强度增益。可测量**微小样品的同时大程度保证了测试的准确性及稳定性。
2、微米级**小区域:在Elite-X光学系统设计下大大降低检出限,纳米级**薄镀层均可准确、可靠测试
3、广角相机:样品整体形貌一览无余,且测试位置一键直达
4、搭配高分辨微区相机:千倍放大*对焦测试区域,搭配XY微米级移动平台,三维方向对焦聚焦测试点位,误差<±2 μm
5、多重保护系统:V型激光保护,360°探入保护,保护您的样品不受损害,保证仪器安全可靠的运作
6、全自动移动平台:可编程化的操作,针对同一类型样品,编程测试点位,同一类样品自动寻路直接测试
7、人性化的软件:搭配EFP核心算法软件,人机交互,智慧操作
8、可搭配全自动进送样系统
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