x射线荧光镀层测厚仪校准半导体

多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品详细资料介绍，多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品报价和详细配置请咨询苏州实谱仪器有限公司提供毛细管镀层测厚仪产品原理和应用测试方案。x射线荧光光谱XRF在晶圆测试中被广泛应用
1. 高性能高精度X荧光光谱仪 (XRF)
2. 计算机 通道逐次近似计算法 ADC (模拟数字转换器)
运用基本参数 (F软件，通过简单的三步进行无标样标定，使用 基础参数计算方法，对样品进行的镀层厚度分析
3. (多层薄膜基本参数法) 模块进行镀层厚度

X射线荧光是原子内产生变化所致的现象。-个稳定的原子结构由原子核及核外电子组成。其核外电子都以各自特有的能量在各自的固定轨道上运行，内层电子(如K层)在足够能量的X射线照射下脱离原子的束缚,释放出来,电子的逐放会导致该电子壳层出现相应的电子空位。这时处于高能量电子壳层的电子(如:L层)会跃迁到该低能量电子壳层来填补相应的电子空位。由于不同电子壳层之间存在着能量差距,这些能量上的差以二次X射线的形式释放出来,不同的元素所释放出来的二次X射线具有特定的能量特性。这一个过程就是我们所说的X射线荧光(XRF)。元素的原子受到高能激发而引起内层电子的跃迁，同时发射出具有-定特殊性波长的X射线,根据莫斯莱定律,荧光X射线的波长λ与元素的原子序数Z有关,其数学关系如下:
λ=K(Z- S)-2

1. X 射线管：高稳定性 X 光光管，使用寿命(工作时间>20,000 小时)
微焦点x 射线管钼钯
焦斑直径：15μm
2. 探测器：FAST SDD探测器 能量分辨率：125±5eV
3. 平台：软件程序控制步进式电机驱动 X-Y 轴移动大样品平台。 激光定位、简易荷载大负载量为 5 公斤
软件控制程序进行持续性自动测量
4. 样品定位：显示屏上显示样品锁定、激光定位及拍照功能

产品配置及技术指标说明
X 射线光管：50KV ，1mA 钼钯
检测系统：FAST SDD 探测器
检测元素范围：Al ( 13) ~ U(92)
应用程序语言：英／中
测量原理：能量色散X射线分析
分辨率：125±5eV
焦斑直径：15μm
 分析方法：FP/校准曲线，吸收，荧光
样品移动距离：可设置
毛细管镀层分析产品特点：
1、多导毛细光学系统和高性能SDD探测器：区别金属准直，多导毛细管可将光束缩小至10 μm，同时得到数千倍的强度增益。可测量**微小样品的同时大程度保证了测试的准确性及稳定性。
2、微米级**小区域：在Elite-X光学系统设计下大大降低检出限，纳米级**薄镀层均可准确、可靠测试
3、广角相机：样品整体形貌一览无余，且测试位置一键直达
4、搭配高分辨微区相机：千倍放大*对焦测试区域，搭配XY微米级移动平台，三维方向对焦聚焦测试点位，误差<±2 μm
5、多重保护系统：V型激光保护，360°探入保护，保护您的样品不受损害，保证仪器安全可靠的运作
6、全自动移动平台：可编程化的操作，针对同一类型样品，编程测试点位，同一类样品自动寻路直接测试
7、人性化的软件：搭配EFP核心算法软件，人机交互，智慧操作
8、可搭配全自动进送样系统
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欢迎来到苏州实谱仪器有限公司网站， 具体地址是江苏省苏州苏州市干将西路399号205，联系人是孙经理。 主要经营苏州实谱信息科技有限公司是一家以X荧光光谱仪为核心,集多种检测仪器的研发、生产、销售于一体的高科技企业。。 单位注册资金未知。 我公司在机械产品领域倾注了无限的热忱和激情，公司一直以客户为中心、以客户价值为目标的理念、以品质、服务来赢得市场，衷心希望能与社会各界合作，共创成功，共创辉煌，携手共创美好明天！